LKH螺杆泵优点

■  提供干净的真空环境，无油，无污染
■  宽的真空范围，高的极限真空，从1atm到0.1Pa
■  振动小，噪音低，免维护
■  采用变螺距技术，效率高，能耗低
■  结构紧凑，移动方便

LKH螺杆泵主要特点

■ 气路短，抗粉尘能力强

■ 单级设计，结构简单，运行稳定性高

■ 使用零件与其它类干泵相比减少60%，维修简便，费用低

LKH螺杆泵应用领域

■ 锂电池（LiPB）、太阳能电池（Solar Cell）

■ 化学气相沉积（CVD）、刻蚀（Etching）

■ 真空镀膜（Vacuum Coating）、装卸系统（Load lock）

■ 离子注入（Ion Implant）、灰化（Ashing）

■ 液晶显示（LCD）、等离子显示器（PDP）、有机发光二极管（OLED）

■ 真空蒸发（Evaporator）、真空脱气（Degassing）

■ 航空航天（Aerospace）、食品（Food）、医药（Medicine）

LKH螺杆泵技术参数

LKH系列外形尺寸